HYBRID/DLC凹板

  • HOME
  • HYBRID/DLC凹板
HYBRID凹板の制作工程

開発各社の特徴

超大型・超高精度フォトマスク製作メーカー
フォトマスクの株式会社進映社
ハードクロムマスク(原版)の製作

超精密ガラス原版メーカー
株式会社大山光学
ガラスエッチング品の製作

超精密薄膜製造メーカー
Bring You The Solution
GEOMATEC
バッファ+DLCのスパッタリング成膜

HIBRID/DLC凹板の特徴

超高精度

  • 高精度レーザー描画装置による原版の作成
  • 原版と同等のガラスエッチング制度
  • エッチング深度±0.1µm、ミニマム解像度10µm

高耐久性

  • ガラスエッチングのエッジ部をR形状にすることによりドクターの磨耗低減
  • DLC表面硬度1,500Hv以上
  • ドクタースキージング10,000回以上の連続印刷可能

超大型平板

  • DLCの最大サイズ(現在)1,450×1,650mm
  • クロムハードマスクは2,000×2,500mmクラスに対応可能(進映社)
HYBRID凹板の使用例

お問い合わせ

株式会社大山光学へのお問い合わせはこちら

TEL 03-3917-2310(代)

FAX 03-3917-2338

お問い合わせ